Laser - Hochratebearbeitung mit 2D Polygonscanner an Siliziumwafern
Formale Metadaten
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| Lizenz | CC-Namensnennung - keine kommerzielle Nutzung 3.0 Deutschland: Sie dürfen das Werk bzw. den Inhalt zu jedem legalen und nicht-kommerziellen Zweck nutzen, verändern und in unveränderter oder veränderter Form vervielfältigen, verbreiten und öffentlich zugänglich machen, sofern Sie den Namen des Autors/Rechteinhabers in der von ihm festgelegten Weise nennen. | |
| Identifikatoren | 10.5446/17092 (DOI) | |
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| Produktionsort | Labor 6 - Laserinstitut Hochschule Mittweida |
Inhaltliche Metadaten
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