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"Nanoelectronics and Plasma Processing-- The Next Fifteen Years and Beyond "

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Titel "Nanoelectronics and Plasma Processing-- The Next Fifteen Years and Beyond "
Autor Prof. Michael A. Lieberman
Herausgeber Princeton Plasma Physics Laboratory (PPPL)
Erscheinungsjahr 2007
Sprache Englisch

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Fachgebiet Physik

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