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Microwave plasmas - efficient and versatile sources

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Formale Metadaten

Titel
Microwave plasmas - efficient and versatile sources
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Identifikatoren
Herausgeber
Erscheinungsjahr
Sprache
Produzent
ProduktionsortBerlin

Inhaltliche Metadaten

Fachgebiet
Genre
Abstract
Compact plasma source which can be operated under atmospheric pressure and therefore requires no vacuum technology. Thus, many tasks for which low-pressure plasmas are used nowadays can be accomplished much more cost efficiently. Some new applications, e.g. medical plasma treatment, become only accessible with atmospheric plasma technology.
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